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  • 聊城氩气回收装置
  • 所属分类: 气体回收
  • 公司名称: 山东韶华气体有限公司
  • 联系方式: 40080 40085
  • 公司地址: 山东省烟台市芝罘区青年南路462号
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产品简介:
       处理气量:(1-1000)Nm3/h
       压力:≤1.0Mpa
       氩气纯度:≥99.999%
       露点:≤-70℃
       纯氩含氧量:≤1.5ppm
广泛应用于:
       光纤,单晶硅,多晶硅行业等氩气的回收及纯化。
       单晶硅行业氩气回收(氩气回收率≥95%)
       根据单晶炉工作运行的工序,真空泵抽出的回收氩气由阀进入到氩气回收设备。回收气首先经过鼓风机进入到进气储罐,然后再进入到预处理设备,除去里面的油份和杂质。然后进入以下氩气纯化设备单元,根据各个工艺将里面的杂质一一去除,然后使得回收气气体纯度达到所需要求,进一步循环利用。



更新时间:22/03/27 15:33:03  

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