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激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前要进行干燥处理，防止污染混合气。如果将氦（He）氖（Ne）激光作为第一代气体激光，二氧化碳激光气是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪（KrF）激光，可称为第三代激光。
类别
混合气组成/（10-2）
用途
H2
Ne
Ar
N2
CO2
Kr
F
Xe
CO
HCl
平衡气
氦氖激光
混合气
2-8.3
He
用于工业生产，科学研究和国防建设等领域
CO2激光
混合气
0.4
13.5
13.0
8.0
6.0
16.0
8-12
4.5
7.0
8.0
8.0
16.0
6-8
2.0
4.0
2.0
4.0
主要用于激光加工，如金属、陶瓷的切割、焊接与钻孔以及医疗上的激光外科等
氪氟激光
混合气
5.0
10.0
1-0.2
用于保护膜导光以及化学反应等领域。贮存器制造中的石板印刷已开始使用氟化氪激光
密封束
激光气
18.5
3
2.5
作研究用的密封束激光气
准分子
激光气
25.8
9.8
0.004
1
5
0.2
5.0
Ar
He
He
Ar
准分子激光器用于医疗上的外科手术
